真空管式炉的工艺流程

　　真空管式炉通过结合真空技术与热处理技术，在真空或可控气氛环境下对材料进行高温加热处理，其工艺流程如下：

　　1、样品放置与密封

　　将待处理材料放入炉管内，注意避免堵塞气体通道。关闭炉门后，通过法兰和密封圈（如氟橡胶O型圈）实现真空密封。

　　2、抽真空与通气

　　启动真空泵抽至目标真空度，或根据工艺需求通入特定气体。例如，在CVD（化学气相沉积）工艺中，需先抽真空再通入反应气体以沉积薄膜。

　　3、加热与保温

　　在温控仪上设置升温程序，启动加热后，系统自动执行升温、保温阶段。例如，金属热处理可能需在800℃保温2小时以完成相变。

　　4、冷却与取样

　　加热结束后，可选择自然冷却或通入气体加速冷却。待温度降至安全范围（如<100℃）后，打开炉门取出样品。